簡易檢索 / 檢索結果

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    沉積矽薄膜於自組裝單分子膜修飾之石英基板
    • 化學工程系 /102/ 碩士
    • 研究生: 郭燕靜 指導教授: 戴 龑
    • 本論文藉由物理氣相沉積系統(PVD)沉積矽薄膜於自組裝單分子薄膜(SAM)改質後的石英基板,並利用固相結晶法(SPC)使非晶矽薄膜結晶為多晶矽薄膜,最後使用SEM觀察表面型態;Raman光譜、XRD…
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